財經 北京新浪網 晶盛機電:較早啟動了對碳化矽等第三代半導體材料設備的研發 目前已經實現銷售

晶盛機電:較早啟動了對碳化矽等第三代半導體材料設備的研發 目前已經實現銷售

晶盛機電在互動平台表示:公司較早啟動了對碳化矽等第三代半導體材料設備的研發。目前自主研發的碳化矽單晶爐已經實現銷售,外延設備已經取得客戶技術驗證通過。公司將繼續加大研發力度,充分發揮在半導體裝備和精密製造領域的技術優勢,持續拓展碳化矽等第三代半導體材料裝備。